Розрізняють об’ємний опір електричної ізоляції, що дорівнює опору через товщу матеріалу, і поверхневий опір, що визначається наявністю забруднень (волога, розчини солей, кислот), порушеннями структури поверхні, оскільки поверхня діелектрика більшою мірою схильна до впливу …Apr 2, 2014
Поверхневий опір епітаксіальних, легованих, дифузійних або осаджених плівок дозволяє визначити якість технологічного процесу. Однорідність характеристик шару на поверхні підкладки показує розбіжність параметрів кінцевих кристалів, узятих у різних місцях на пластині.
На результати визначення питомого об’ємного і поверхневого опору впливають такі чинники: амплітуда і час прикладання напруги, геометрія і природа електродів, температура і вологість навколишньої атмосфери і зразків під час кондиціювання та вимірювань.
Об’ємний питомий опір (Ом*см) – здатність пропускати електричний струм через його об’єм – вимірюється шляхом прикладання потенціалу напруги на протилежних сторонах зразка діелектрика і вимірювання результуючого струму через зразок.